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光学微电子工程中的空气是如何过滤的?净化分析方案

日期:2020-04-09 16:03
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摘要: 光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细-菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。 光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精-密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之**发展,对于产品的高精-密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科...

光学微电子净化工程之定义为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细-菌等之污染物排除,并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给于特别设计之密闭空间。

光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精-密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之**发展,对于产品的高精-密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为世界各国在科技发展上极为重视的项目。

光学微电子净化工程净化原理:

气流初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→高效净化风口→吹入房间→带走尘埃细-菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。

传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。优点:

A.空气处理效果好,因空气经过集中处理,在送风过程中被污染程度较低。送风的温度、湿度的控制比较精-确;

B.比较适用于有集中冷源的或是较大的厂房;

C.空调冷热源可与厂房普通空调系统合用或独立冷热源;

D.维修频率较低;

E.车间的噪音低。


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